CBE设备的控制系统

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摘要化学束外延(CBE)是半导体超薄层材料生长技术的最新发展,它兼有MBE和MOCVD两者的优点。我们研制出了CBE设备。本文给出了CBE设备的控制系统的硬、软件设计。

作者韩汝水付首清张利强余文斌

机构地区中国科学院半导体所中国科学院沈阳科仪厂

出处《半导体情报》 1991年第6期82-84,共3页 Semiconductor Information

关键词化学束外延设备控制硬件软件

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半导体情报

1991年第6期

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