国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果
摘要
研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
出处
《半导体情报》
1991年第6期79-80,共2页
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