半导体超晶格结构参数的x射线衍射运动学理论拟合计算

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摘要运用x射线衍射的运动学理论研究了[(Ga_(1-x)Al_xAs)_m(GaAs)_a]_N/GaAs(001)一维超晶格结构。通过模拟计算,精确确定了起晶格的结构参数。本文所述的方法可用于各种超晶格结构,具有普遍意义。另外,还对超晶格卫星峰强度的非对称性以及界面过渡层的存在对卫星峰强度的影响,做了必要的讨论。

作者王玉田马琳庄蔚华

机构地区中国科学院半导体超晶格微结构实验室中国科学院半导体研究所

出处《半导体情报》 1991年第6期48-50,97,共4页 Semiconductor Information

基金国家自然基金

关键词半导体超晶结构 X射线衍射运动学

分类号 TN304.26 [电子电信—物理电子学]

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半导体情报

1991年第6期

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