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复合钝化工艺在大功率晶体管上的应用

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摘要近十年来,国内几家生产大功率晶体管的大型企业在大规模引进的前提下才使电泳玻璃钝化工艺在大功率晶体管上投产。这对中、小型企业来说是可望而不可及的。为使本厂产品的质量得以改善,我们在近半年试制过程中。

作者李少华

机构地区衡阳晶体管厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第4期64-65,共2页 Semiconductor Technology

关键词功率晶体管晶体管纯化工艺

分类号 TN323.4 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1991年第4期

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