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硫化硅橡胶钝化工艺在大功率晶体管上的实际应用

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摘要本文介绍了硫化硅橡胶钝化工艺,简单分析了直角造型的优点,简化了钝化工艺,使器件高温特性得到改善,BV_(ceo)击穿电压比负角台面造型提高30～50V。基本消除有毒有机化学药品对人体危害,并成功应用在批量生产中。

作者李少华

机构地区衡阳晶体管厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第6期33-34,共2页 Semiconductor Technology

关键词功率晶体管硫化硅橡胶纯化工艺

分类号 TN323.4 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1990年第6期

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