期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

多层簿膜厚度XQMA测定及Monte Carlo计算方法被引量：1

原文传递

导出

摘要本文提出了应用X射线显微分析实验及Monte Carlo模拟计算电子散射、X射线激发来确定多层薄膜样品每一层厚度的方法.在几种加速电压下,对不同组成、不同厚度的多层膜进行了测定,所得结果与核背散法测定值一致.相对误差小于10％.文中给出了计算程序流程图.

作者何延才陈家光王心磊马业明

机构地区中国科学院上海硅酸盐研究所上海宝山钢铁总厂钢铁研究所

出处《中国科学（A辑）》 CSCD 1990年第7期757-761,共5页 Science in China(Series A)

基金国家自然科学基金

关键词多层薄膜厚度 XQMA测定电子散射

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

引文网络
相关文献

参考文献3

1何延才,黄月鸿.用蒙特卡罗方法计算电子在固体中透射系数和X光激发深度[J]物理,1982(09).
2程万荣,高巧君,吴自勤.用X射线能谱同时测定薄膜成分及厚度[J]物理学报,1982(01).
3何延才,黄月鸿,孙荆,陈裕三.Monte Carlo模拟计算应用于微区薄膜厚度测定[J]物理学报,1982(01).

同被引文献5

1谭震宇,何延才.解相对论Dirac方程计算低能电子弹性散射截面的分波法[J].计算物理,1993,10(2):239-245. 被引量：4
2谭震宇,何延才,杨进.一个改进的低能电子散射Monte Carlo计算方法[J].科学通报,1996,41(13):1245-1248. 被引量：1
3谭震宇,何延才.Monte　Carlo方法计算背散射电子在固体中的空间分布[J]计算物理,1995(04).
4何延才,曹立群,胡敏,陈家光.规则形状多元组份样品的X射线微区定量分析计算方法[J]中国科学(A辑数学物理学天文学技术科学),1986(10).
5谭震宇,宋传杰,裘培勇.固体中散射电子空间输运的矩阵方程[J].山东工业大学学报,1992,22(4):30-35. 被引量：9

引证文献1

1谭震宇,何延才.低能电子在多元介质中散射Monte Carlo计算方法[J].科学通报,1997,42(22):2453-2456. 被引量：3

二级引证文献3

1谭震宇,何延才.低能电子束曝光中的Monte Carlo方法及沉积能分布[J].计算物理,1997,14(4):499-501. 被引量：3
2谭震宇,何延才.Monte Carlo方法模拟低能电子在多元介质中散射——基于平均散射截面方法[J].计算物理,2000,17(3):331-336. 被引量：3
3阿木古楞,吴晓薇,李建福.Monte Carlo方法在计算物理中的应用[J].内蒙古农业大学学报（自然科学版）,2001,22(3):113-117. 被引量：1

1刘铁男,陈淼鑫.多层曲线拟合方法及其应用[J].基础自动化,1994,1(4):16-18.
2陆晓,李清润,赵恩广.电子散射对Woods-Saxon α粒子波函数的检验[J].科学通报,1992,37(11):986-988.
3向永寿.电子-位错散射对金属低温下电子-电子散射电阻率ρee(T)的重要贡献[J].重庆师范学院学报（自然科学版）,1991,8(1):78-84.
4邵其鋆,潘正瑛.二元分层动态靶溅射的Monte Carlo模拟计算[J].计算物理,1990,7(2):205-210.
5K．T．惠兰,N．J．梅森,李国栋.电子散射——原子、分子、核和大块物质[J].国外科技新书评介,2006(4):9-9.
6王艳文,谭晓明.电子散射可加性规则的几何模型(英文)[J].洛阳师范学院学报,2005,24(5):36-38.
7郇正良.指数分布下无失效数据的统计分析[J].山东农业大学学报（自然科学版）,2001,32(3):363-367. 被引量：1
8冯庭桂.解线代数方程组的游动点估计量零方差Monte　Carlo迭代格式[J].数值计算与计算机应用,1994,15(2):114-119. 被引量：1
9赵晓光,周恩乐,宠晓敏.多层单分子膜厚度的测定[J].电子显微学报,1992,11(6):464-467.
10薛钰芝,林纪宁.多层膜研究与应用的新进展[J].真空科学与技术,1999,19(A10):89-92.

中国科学（A辑）

1990年第7期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部