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微夹钳研究的进展与展望 被引量:18

Development of microgripper technology
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摘要 微夹钳技术是微机械技术的重要内容之一。本文首先论述了微夹钳的应用背景,回顾了微夹钳技术研究的历史及现状;对目前国内外所研究的微夹钳进行了分类,并对其结构工艺与工作原理进行了分析;最后,对微夹钳技术的发展进行了展望。 Microgripper technique was one of important parts in micromachine techniques. Firstly, the application background was recounted in the paper. The development and actualities of research in microgripper technique were reviewed. Secondly, microgrippers were classified. The structural arts and work principle were analyzed. Finally, the development of microgripper techniques was prospected.
出处 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第3期292-296,共5页 Optics and Precision Engineering
关键词 微夹钳 微机电系统 微执行机构 microgripper MEMS review
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参考文献24

二级参考文献31

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共引文献108

同被引文献185

引证文献18

二级引证文献78

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