新型霍尔硅集成传感器

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摘要本文概述了硅霍尔传感器的进展,介绍了采用微电子技术的制造工艺和高精度矢量磁探头的研制,以及已被验证的采用磁断续器增强检测灵敏度的新结构器件,并以角位移传感器和电流传感器为例介绍了其最新应用。

作者 C.Schott F.Burger H.Blanchard L.Chiesi 张健

机构地区新疆工业高等专科学校机电系

出处《传感器世界》 2000年第3期10-13,共4页 Sensor World

关键词传感器硅集成芯片霍尔器件

参考文献8

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传感器世界

2000年第3期

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