东南大学MEMS教育部重点实验室

Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University

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摘要东南大学1983年开始了集成传感器的研究，并于1985年在德国召开的欧洲固态电子器件会议“ESSDERC 85”上报道了集成MOS流量传感器的研究结果；1986年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《Applied Surface Science》（30（2），397，1987）报道了硅键合材料的测试结果。

出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期F0004-F0004,共1页 Acta Electronica Sinica

关键词教育部重点实验室东南大学 MEMS 集成传感器固态电子器件流量传感器

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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