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半导体工业用的球焊金丝的代用研究

Development of the Substitute Materials of Ball-bonding Gold Wires for Semiconductor Industry
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摘要 1.概述在集成电路及大规模集成电路等半导体器件的组装中,通常用金属细丝将半导体元件与外部引线框连接起来.而半导体器件组装技术中的引线键合技术大致分为热压焊、超声键合焊、球形热压焊3种.其中球形热压焊又可分为无超声球形热压焊和超声球形热压焊,两者之差仅在压焊劈刀上增加了超声波振动.球形热压焊简称球焊,它比前两种引线键合技术具有键合强度大,便于实现自动化操作,使劳动成本降低等优点,所以在现代化的大规模半导体器件组装工厂中普遍采用,目前人们常用金丝作为球焊的引线材料.
作者 刘大蓉
机构地区 贵金属研究所
出处 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 1989年第4期56-60,共5页 Precious Metals
关键词 半导体技术 金丝 球焊 代用材料 Gold, Metal wires, Substituted materials, Advancement
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