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化学液相喷涂法制备超导薄膜的研究

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摘要本文介绍了硝酸盐水溶液的化学液相喷涂法制备超导薄膜的工艺过程,对工艺参数的选择进行了研究。得到了T_c=84.8K的超导薄膜,X-射线衍射分析表明,薄膜具有良好的单相性,C-轴织构明显,工艺的重复性和薄膜性能的稳定性都较好。

作者李庠张甫权彭自安刘联宝

机构地区机电工业部十二研究所

出处《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 1989年第5期21-24,共4页 Bulletin of the Chinese Ceramic Society

关键词超导薄膜液相喷涂法硝酸盐

分类号 TM26 [一般工业技术—材料科学与工程]

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硅酸盐通报

1989年第5期

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