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薄膜光电性能表征用小型液氮低温恒温器

A small liquid-nitrogen cryostat for studying the optical-electrical properties of thin films
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摘要 本文介绍了一种高真空低温环境下用于薄膜光电性能研究的小型液氮低温恒温器,它能提供稳定低温并与外界隔绝的真空环境,可广泛用于薄膜材料的光学、磁热、超导和电学性能研究领域。系统通过液氮杜瓦和基片加热装置使样品维持在所需的低温高真空条件下,既能通过外接光源将光线引入真空室并辐照在样品上或通过真空电极引线测试样品的电学特性,也可实现薄膜的光电性能表征。热负荷计算与分析表明,该系统可长时间保持所需的低温真空环境,且该装置具有结构简单、体积小和温控稳定等优点,适于薄膜器件的真空低温变温研究。 This paper presents a simple liquid-nitrogen cryostat for studying the optical-electrical properties of thin films at variable low temperature (90K-300K) under high vacuum conditions. It provides a stable and insulated low temperature condition, which can be widely used in the fields of optical, thermo-magnetic and superconductie materials. The sample can be maintained at any required temperature through a combination of a liquid-nitrogen Dewar apparatus and a heating unit. To measure the sample's photoelectrical properties, current-voltage characteristics of the samples can be studied under specific light illumination through an optical window on the cryostat. The heat load calculation indicates that the system can guarantee the desired low temperature environment long enough for studying the sample and it has advantages of simple structure, small space and stable temperature. It is suitable for the investigation of the optical-electrical properties of thin films and devices under variable low temperatures.
出处 《真空》 CAS 2012年第2期52-55,共4页 Vacuum
基金 教育部留学回国人员科研启动基金(20091341-4) 中央高校基本科研业务费专项资金(N090304001)
关键词 低温恒温器 杜瓦绝热 薄膜器件 真空系统 cryostat dewar apparatus thin film device vacuum system
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