分步重复投影光刻机同轴对准数据处理被引量：3

Data Processing of Coaxial Alignment System For Wafer Stepper

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摘要介绍了 0 8～ 1 0 μm分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理 ,详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法。 Constitution and theory of the coaxial alignment system used in 0.8～ 1.0μm wafer stepper is introduced. Software processing and calculating methods of coaxial alignment data are discussed indetail . Results of practical tests are given.

作者吕晓真田宏

机构地区中国科学院光电技术研究所

出处《微细加工技术》 EI 2000年第1期41-44,共4页 Microfabrication Technology

关键词投影光刻机同轴对准数据处理 stepper Coaxial alignment Data processing

分类号 TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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