摘要
本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统。本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制 ,并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测。本系统工作行程 5 0 mm,定位精度± 0 .1μm。
This paper presents a new system for precisely positioning of the worktable.In the system,the combination of servo motor for coarse adjustment and the PZT for fine adjustment is applied in positioning the worktable while the diffraction interfere grating technique is utilized for the feedback of the positional signal in real time.The working range of 50mm has been achieved while the positioning accuracy reached ±0.1μm.
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第1期89-91,94,共4页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
国家高技术 863计划资助项目
