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多晶硅工艺废气洗涤塔排空气体着火分析 被引量:3

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摘要 在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中,合成、精馏、还原、氢化、干法尾气回收等主工序都会产生一定量的工艺废气。这些含有氯化氢(HCl)、氯硅烷的工艺废气若直接排放,会造成严重的环境污染。一般情况下,这些工艺废气都要通到碱液洗涤塔进行淋洗中和,经充分水解、中和后方可排空。
作者 刘小锋 王岭
出处 《新材料产业》 2011年第9期68-71,共4页 Advanced Materials Industry
  • 相关文献

参考文献4

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同被引文献9

引证文献3

二级引证文献7

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