新颖双框架角振动微机械陀螺的制作被引量：3

Exploring on Novel Double Gimbals Angular Vibratory Micromechanical Gyroscope

下载PDF

导出

摘要介绍了新颖双框架角振动微机械陀螺的工作原理、结构特点。 The principle structure and processing of novel double gimbal sangular vibratory microelectron-mechanical gyroscope are desired,experimental results of the key technology are given.

作者陈德英

机构地区东南大学微电子中心

出处《传感器技术》 CSCD 1999年第5期25-27,共3页 Journal of Transducer Technology

关键词微机械陀螺角振动陀螺灵敏度 Micromechanical Double gimbals Angular vibratory gyroscope

分类号 TN965 [电子电信—信号与信息处理]

引文网络
相关文献

参考文献4

1茅盘松,王修伦,吴绍夫.硅微振动陀螺的理论分析[J].传感器技术,1995,14(6):6-10. 被引量：3
2陈德英.浓硼硅腐蚀自停止的研究[J].半导体技术,1998,23(5):33-35. 被引量：3
3陈德英，半导体技术，1998年，23卷，5期
4黄庆安，微机械加工技术，1996年，56页

二级参考文献2

1茅盘松,周百令,吴绍夫,万德钩.硅微型机械振动陀螺的制备[J].传感器技术,1996,15(5):17-19. 被引量：1
2茅盘松.平面振动式微硅型加速度计的结构设计[J].传感器技术,1996,15(6):34-37. 被引量：2

共引文献4

1徐静,苏伟.单晶硅浓硼掺杂悬臂梁中残余应力的研究[J].传感器技术,2005,24(7):47-48. 被引量：1
2陈德英,茅盘松.新颖角振动微硅陀螺的设计[J].固体电子学研究与进展,1999,19(4):359-364.
3陈德英,茅盘松,史建伟,熊涛,张旭,金肖科.扭摆式微硅隧道加速度传感器[J].电子器件,2001,24(4):285-294. 被引量：5
4方玉明,茅盘松.内框驱动式硅微型角振动陀螺仪灵敏度研究[J].电子器件,2004,27(1):189-191. 被引量：2

同被引文献13

1A．Kourepenis,张沛晗等.微机电系统（MEMS）惯性传感器的性能[J].惯导与仪表,2001(4):1-11. 被引量：2
2王勖成邵敏.有限单元法基本原理和数值方法[M].北京:清华大学出版社,1996..
3周世勤鲁政孙道秋.微机械惯性仪表研制现状跟踪研究．航天情报研究报告[R].,2000.40—42.
4成耀东.机械振动学.杭州:浙江大学出版社,1988.
5李景涌.有限元法[M].北京:北京邮电大学出版社,2002.
6邵良杰,罗晓章.微机械双框架陀螺仪的机理研究[J].传感器技术,1999,18(5):7-9. 被引量：3
7刘光辉,亢春梅.MEMS技术的现状和发展趋势[J].传感器技术,2001,20(1):52-56. 被引量：32
8Ash,ME.Draper实验室微机械惯性敏感器的研制情况及近期测试结果[J].惯导与仪表,2001(2):1-7. 被引量：2
9徐景硕.惯性传感器技术及发展[J].传感器技术,2001,20(5):1-4. 被引量：24
10李志信,罗小兵,过增元.MEMS在惯性测量中的应用[J].传感器技术,2001,20(7):58-60. 被引量：7

引证文献3

1魏冬,张志杰.微机械陀螺仪模态分析[J].传感器与微系统,2007,26(4):34-35. 被引量：2
2韩勇,马咏梅.基于ANSYS二次橡胶减振器的模态分析[J].机械设计与制造,2010(3):63-65. 被引量：16
3谷庆红.微机械陀螺仪的研制现状[J].中国惯性技术学报,2003,11(5):67-72. 被引量：24

二级引证文献42

1蒋庆仙.关于MEMS惯性传感器的发展及在组合导航中的应用前景[J].测绘通报,2006(9):5-8. 被引量：31
2文炜.基于MEMS技术的惯性测量器件及系统的发展现状和应用[J].飞航导弹,2006(9):56-59. 被引量：17
3魏冬,张志杰.微机械陀螺仪模态分析[J].传感器与微系统,2007,26(4):34-35. 被引量：2
4徐晓松,范京,刘海林,肖健明,张福学.旋转载体用硅微机械陀螺的相位研究[J].北京机械工业学院学报,2008,23(2):1-4. 被引量：2
5葛海江,陶姗.姿态感知鼠标指针的控制方法[J].机电工程,2009,26(3):105-107. 被引量：6
6蔡占军,翁海珊,俞必强.多学科混合协同设计优化方法[J].北京科技大学学报,2009,31(6):792-798. 被引量：1
7李瑞养,林强.基于MEMS技术的惯性传感器的发展及在组合导航系统的应用研究[J].中国科技纵横,2010(7):110-110. 被引量：1
8葛海江,张雪娟,沈海娟.两轴模拟陀螺仪的空中鼠标指针控制方法研究[J].电子技术应用,2010,36(11):132-134. 被引量：5
9杨业飞,申文涛.惯性稳定平台中陀螺技术的发展现状和应用研究[J].飞航导弹,2011(2):72-79. 被引量：17
10庹洲慧,李如华,江明明.机抖激光陀螺减振系统的模态分析[J].国防科技大学学报,2010,32(6):142-146. 被引量：4

1闫思家,彭仁军,冯波,高建双.一种基于FPGA的激光散斑实时测量目标角振动的新方法[J].电子器件,2012,35(2):212-215.
2洪光烈,郭亮.角振动对合成孔径激光雷达成像的影响[J].红外与毫米波学报,2011,30(6):571-576. 被引量：4
3杨梦馨.AP—30—5000W曝光机优越性浅析[J].印制电路信息,1997,0(3):22-23.
4翟有新,冯培德.振动条件下平台角振动对惯导系统误差的影响研究[J].中国惯性技术学报,2000,8(1):1-6. 被引量：6
5李小兵,彭仁军,吴健.目标角振动的散斑法实时测量[J].强激光与粒子束,2004,16(4):413-416. 被引量：5
6安源,许晖,金光,史磊,王军,宋志远.动载体光电平台角振动隔振设计[J].半导体光电,2006,27(5):614-617. 被引量：16
7张鸿翼,李飞,徐卫明,舒嵘.经过改进的差分合成孔径激光雷达对振动的抑制[J].红外与毫米波学报,2015,34(5):576-582. 被引量：3
8王雁.光学平台微角振动精密测量技术[J].中国工程物理研究院科技年报,2004(1):196-197.
9赵忠杰.光学平台减振方法初步分析[J].中国工程物理研究院科技年报,2004(1):189-189.
10吴洪波,蓝天,张新,刘红影,张广磊.机载平台振动对激光雷达激光束指向精度的影响[J].中国激光,2015,42(B09):209-215. 被引量：3

传感器技术

1999年第5期

浏览历史

内容加载中请稍等...

新颖双框架角振动微机械陀螺的制作被引量：3

参考文献4

二级参考文献2

共引文献4

同被引文献13

引证文献3

二级引证文献42

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

新颖双框架角振动微机械陀螺的制作 被引量：3

参考文献4

二级参考文献2

共引文献4

同被引文献13

引证文献3

二级引证文献42

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

新颖双框架角振动微机械陀螺的制作被引量：3