金刚石半导体的研制动向被引量：2

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摘要金刚石是最硬的物质,被应用在磨削工具、切削工具或耐磨损工具上。但是,金刚石除了硬之外,还有其它一些有用的特性,对这些特性的应用在最近几年已受到人们的关注。金刚石至少具有硬度和热传导率两项最高特性,象这样具有两项以上最高特性的物质,金刚石几乎是唯一的一种。

作者藤森直治王景义

机构地区住友电气工业研究开发本部

出处《微细加工技术》 1990年第2期46-50,共5页 Microfabrication Technology

关键词金刚石半导体

同被引文献3

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微细加工技术

1990年第2期

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