碳氢氧体系低压金刚石非平衡定态系列相图

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摘要在碳氢体系金刚石薄膜制备取得巨大成功的同时，人们开始寻找新的原料气体来制备金刚石以改善薄膜的质量和试图降低金刚石薄膜的淀积温度并提高淀积速率。首先被人们采用的是一些含氧的化合物和氢气的混合气体作原料制备金刚石，少量氧的存在不仅改善了金刚石薄膜的质量，...

作者刘志杰张卫万永中张剑云王秀陶

机构地区复旦大学电子工程系CVD研究室

出处《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期59-62,共4页 Chemistry

基金国家自然科学基金 "八六三"高科技基金

关键词相图碳氢氧体系金刚石薄膜低压生长非平衡

分类号 O613.71 [理学—无机化学]

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