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SrTi_(1-x)Mg_xO_(3-δ)薄膜的氧敏特性 被引量:2

Oxygen Sensing Properties of SrTi 1-x Mg x O 3-δ Film
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摘要 采用电泳沉积方法,制备了SrTi1-xMgxO3-δ薄膜,研究了薄膜的氧敏特性. The SrTi 1-x Mg x O 3-δ films are prepared use of electrophoresis method,and the oxygen sensitivites of the film are studied.
出处 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1999年第2期265-266,共2页 Journal of Inner Mongolia University:Natural Science Edition
基金 内蒙古大学青年科学基金
关键词 薄膜 氧敏特性 半导体 SRTIO3 掺杂 SrTi 1-x Mg x O 3-δ film electrophoresis oxygen sensitivities
  • 相关文献

参考文献4

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  • 2贾维国,内蒙古大学学报,1998年,29卷,3期,334页
  • 3Yu Chunying,Sensors Actuators,1988年,14卷,309页
  • 4Yu C Y,Chem Lett,1986年,563页

二级参考文献3

  • 1Yu Chunying,Sens Actuators,1988年,14卷,309页
  • 2Yu C,Chem Lett,1986年,563页
  • 3林立强,固体电子学研究与进展,1984年,4卷,3期,44页

共引文献2

同被引文献33

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引证文献2

二级引证文献6

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