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纳米Si薄膜的压阻效应

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摘要 纳米Si薄膜由大量的超微Si晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应。本文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用。认为纳米Si薄膜材料是一种优秀的传感器材料。
出处 《测试技术学报》 1998年第2期19-23,共5页 Journal of Test and Measurement Technology
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