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硅单晶生长晶向校准对成品率和径向电阻率均匀度的影响

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摘要研制了取向可以自由调节的籽晶调向夹头,应用于激光晶轴定向仪,在炉外调整籽晶在夹头中的晶向,达到校准硅单晶生长晶向,提高了直拉无位错硅单晶的成品率和单晶的径向电阻率均匀度。

作者陈立登张民杰

机构地区浙江大学材料系半导体材料研究所

出处《科技通报》 1990年第1期6-8,共3页 Bulletin of Science and Technology

关键词硅单晶晶向成品率径向电阻率

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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