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差动电容小位移传感器的研究 被引量:6

Study of Differential Capacitance Small Displacement Sensor
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摘要 设计了一种差动电容式位移传感器,它可对微小位移进行测量。设计了传感器的机械框架以及信号处理电路,主要包括正弦激励电路、转换桥路、信号放大电路、精密整流电路和滤波电路。对传感器的工作原理进行了分析,对电路参数进行了计算。该传感器结构简单、使用方便、成本低。实验结果表明测量范围为0-0.6 mm,具有很好的线性度。 A displacement sensor using differential capacitors was presented. The sensor can measure the small displacement. The mechanical frame and signal processing circuit were designed. The sensor circuit was composed of sinusoidal excitation circuit, converting bridge, amplifier, precision rectifier and low-pass filter. The operation principle of the sensor was analyzed. The signal processing circuit parameters were calculated. The sensor is of simple construction, convenient and low cost. Experimental results show that the measurable linear range of the displacement sensor is 0 mm to 0.6 mm.
作者 鲍丙豪 张玲
出处 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第6期16-17,31,共3页 Instrument Technique and Sensor
关键词 小位移 电容 传感器 small displacement capacitance sensor
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参考文献1

二级参考文献3

共引文献3

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引证文献6

二级引证文献23

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