低压气相生长人造金刚石的热力学耦合理论模型被引量：5

导出

摘要激活的化学汽相淀积(CVD)条件下低压生长人造金刚石(以下简称CVD金刚石或金刚石低压气相生长)的研究在80年代就成为世界范围的热点之一.众所周知,碳的平衡相图中,低压下石墨是稳相而金刚石是亚稳相.因此在长时间中没有人能很好地解释为什么会在低压下生长金刚石而不是生长石墨.1990年2月Yarbrough在Science杂志上发表一篇“CVD金刚石的现状和问题”的总结性评论时说:“所有的理论模型(指当时已提出的)

作者王季陶黄忠强万永中张卫郑培菊

机构地区复旦大学电子工程系同济大学应用数学系复旦大学分析测试中心

出处《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》 1997年第4期392-396,共5页

基金国家自然科学基金

关键词热力学耦合相图金刚石气相生长低压 CVD

分类号 TQ164.8 [化学工程—高温制品工业]

引文网络
相关文献

参考文献1

1王季陶,郑培菊.人造金刚石低压合成的非平衡定态相图研究[J].科学通报,1995,40(11):1056-1056. 被引量：9

二级参考文献2

1王季陶，J Electrochem Soc，1994年，14卷，1期，278页
2王季陶，Surface Coatings Technology，1990年，43/44卷，1页

共引文献8

1马丙现,贾瑜,姚宁,杨仕娥,张兵临.模板对异构体选择性生长的动力学控制作用与化学气相沉积金刚石的生长机理[J].物理学报,2005,54(9):4300-4308. 被引量：1
2王传新,汪建华,满卫东,马志斌,王升高,傅朝坤,李克林,康志成.金刚石薄膜生长速度研究[J].功能材料与器件学报,2005,11(4):427-430. 被引量：3
3张卫,万永中,王季陶.人造金刚石低压气相生长的热力学研究[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1997,7(2):170-174. 被引量：2
4张卫,万永中,王季陶.CO/H_2体系低压气相生长金刚石的相图[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1997,7(5):634-637.
5王季陶,张卫.非生命体系中负熵反应和反应耦合的定量计算——1个“简单”而又“神秘”的低压人造金刚石的热力学问题[J].复旦学报（自然科学版）,1999,38(1):75-79. 被引量：2
6刘志杰,张卫,张剑云,丁士进,王季陶.含氟气相体系低压生长金刚石的相图计算[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1999,9(4):378-380.
7赵庆勋,韩佳宁,文钦若,辛红丽,杨景发.直流辉光等离子体辅助热丝CVD法沉积金刚石薄膜[J].光谱实验室,2002,19(1):137-139.
8韩佳宁,赵庆勋,文钦若,辛红丽.直流辉光等离子体助进热丝CVD法沉积金刚石薄膜[J].河北师范大学学报（自然科学版）,2002,26(1):48-50. 被引量：2

同被引文献12

1王季陶,郑培菊.人造金刚石低压合成的非平衡定态相图研究[J].科学通报,1995,40(11):1056-1056. 被引量：9
2王季陶,万永中,张卫,杨清河,黄忠强.低压金刚石生长的非平衡定态三元投影相图[J].科学通报,1997,42(7):783-784. 被引量：3
3贺晓明.离子束辅助沉积类金刚石碳膜研究[M].北京:清华大学,1994..
4吴大维,何孟兵,郭怀喜,罗海林,张志宏,傅德君,范湘军.C_3N_4薄膜的结构与性能研究[J].物理学报,1997,46(3):530-535. 被引量：17
5《科学通报》外文版将于1980年复刊[J]重庆大学学报(自然科学版),1979(04).
6Yasushi Muranaka,Hisao Yamashita,Hiroshi Miyadera. Synthesis and purification of diamond films using the microwave plasma of a CO-H2 system[J] 1991,Journal of Materials Science(12):3235～3243
7Yukio Saito,Kouji Sato,Kenichi Gomi,Hiroshi Miyadera. Diamond synthesis from CO-H2 mixed gas plasma[J] 1990,Journal of Materials Science(2):1246～1250
8张卫,万永中,王季陶.低压下用CO+H_2气体制备人造金刚石的相图计算[J].无机材料学报,1997,12(3):331-335. 被引量：7
9袁镇海,谢致薇,罗广南,邓其森,郑健红,戴达煌,付志强.真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究[J].广东有色金属学报,1997,7(2):131-136. 被引量：8
10顾有松,潘礼庆,赵敏学,常香荣,王振军,田中卓,肖纪美,胡仁元.离子注入法制备β-C_3N_4的研究[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1997,7(1):113-116. 被引量：3

引证文献5

1张卫,万永中,王季陶.CO/H_2体系低压气相生长金刚石的相图[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1997,7(5):634-637.
2刘志杰,张卫,万永中,王季陶.激活温度对C-H、C-O和C-H-O体系低压金刚石生长条件的影响[J].功能材料,1998,29(5):506-508. 被引量：2
3韩敏健.碳氮膜的沉积工艺及结构研究[J].西安航空技术高等专科学校学报,2000,18(1):18-20.
4张剑云,王鹏飞,丁士进,张卫,王季陶,刘志杰.CVD金刚石薄膜(111)与(100)取向生长的热力学分析[J].功能材料,2001,32(2):217-219. 被引量：2
5付志强,顾子平,袁镇海,邓其森,林松盛,郑健红,戴达煌.碳氮膜的沉积工艺及其结构研究[J].广东有色金属学报,2001,11(2):134-137.

二级引证文献4

1朱宏喜,顾超,薛永栋,任凤章,毛卫民.{100}织构化学气相沉积金刚石薄膜的取向生长过程[J].材料保护,2011,44(12):30-32. 被引量：2
2张剑云,王鹏飞,丁士进,张卫,王季陶,刘志杰.CVD金刚石薄膜(111)与(100)取向生长的热力学分析[J].功能材料,2001,32(2):217-219. 被引量：2
3汪爱英,孙超,王冰,宫骏,黄荣芳,闻立时.热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算[J].金属学报,2001,37(11):1217-1222. 被引量：6
4曹为,马志斌,陶利平,高攀,李易成,付秋明.氦气对 MPCVD 沉积金刚石的影响[J].光谱学与光谱分析,2015,35(3):711-714. 被引量：3

1曹传宝,彭定坤,孟广耀.金刚石簿膜生长技术[J].微细加工技术,1992(3):46-52.
2张卫,万永中,王季陶.人造金刚石低压气相生长的热力学研究[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1997,7(2):170-174. 被引量：2
3王季陶,张卫.非生命体系中负熵反应和反应耦合的定量计算——1个“简单”而又“神秘”的低压人造金刚石的热力学问题[J].复旦学报（自然科学版）,1999,38(1):75-79. 被引量：2
4张卫,万永中,王季陶.CO/H_2体系低压气相生长金刚石的相图[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1997,7(5):634-637.
5王平.双氧水的生产技术、应用及发展建议[J].当代石油石化,2003,11(3):25-28. 被引量：7
6张卫,王季陶,万永中.人造金刚石低压气相生长的相图计算[J].物理学报,1997,46(6):1237-1242. 被引量：6
7刘志杰,张卫,张剑云,丁士进,王季陶.含氟气相体系低压生长金刚石的相图计算[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1999,9(4):378-380.
8陈荷友.低压条件下金刚石的生长(在不同的基片上压入高压金刚石晶粒)[J].国外金属热处理,1994,15(1):10-17.
9为接受化学汽相淀积金刚石膜而对硬质合金基质的处理（专利号：96196215．1）[J].工业金刚石,2004(6):38-38.
10曹蕾,李维成,周松锐.石墨烯的特性、应用状况分析和展望[J].东方锅炉,2016,0(3):30-36.

自然科学进展（国家重点实验室通讯）

1997年第4期

浏览历史

内容加载中请稍等...

低压气相生长人造金刚石的热力学耦合理论模型被引量：5

参考文献1

二级参考文献2

共引文献8

同被引文献12

引证文献5

二级引证文献4

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

低压气相生长人造金刚石的热力学耦合理论模型 被引量：5

参考文献1

二级参考文献2

共引文献8

同被引文献12

引证文献5

二级引证文献4

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

低压气相生长人造金刚石的热力学耦合理论模型被引量：5