摘要
本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
This paper describes the Operating principle ,hardware and software structure of dose controller for LC11 high current ion implanter in which full mechnical scan is adopted
出处
《微细加工技术》
1997年第4期12-18,共7页
Microfabrication Technology
关键词
强流离子注入机
剂量控制器
微电子技术
high-current ion implanter
Dose controller
uniformity
repeatability
