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影响超精密加工表面质量的几种主要因素被引量：2

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摘要分析和探讨了为获取被加工材料稳定的超精密表面所涉及的几个关键技术问题，包括超精密加工机床、刀具和环境条件时表面的影响以及超高精密表面的分析计成等几个方面。简述了加工机理和各环节误差补偿，并展望了这一研究领域的未来。

作者孙涛王波赵清亮董申

机构地区哈尔滨工业大学

出处《航天工艺》 1997年第6期16-19,共4页

关键词超精密加工金刚石刀具亚微米车床表面形貌

分类号 TG669 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TH16-39 [机械工程—机械制造及自动化]

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航天工艺

1997年第6期

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