摘要
介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统，对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究．实验观察到，弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高，过滤管道的传输效率越高．但聚焦磁场高过一定阈值时，会出现起弧不稳现象，此阈值的大小同过滤管道磁场及偏压的大小有关．过滤管道正偏压在40～60V范围内，管道磁场在7～11mT时传输效率较高，偏压越高达到最佳传输效率所需的过滤管道磁场越高．
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期361-365,共5页
Journal of Beijing Normal University(Natural Science)
基金
国家"八六三"计划!863-715-008-0040
国家教委射线束材料工程实验室资助
关键词
真空弧
等离子体沉积
磁过滤管道
传输特性
薄膜
vaccum arc
plasma deposition
magnetic magnetic macroparticle filter
transportation properties
