摘要
在离子渗氮和离子渗碳这样的等离子扩散过程中,除温度、气体成份、气体压力及气体流量等常规工艺参数外,等离子功率密度或等离子流密度具有重要意义。可以证明,离子渗氮时,等离子功率密度对化合物层厚度的影响尤其显著;离子渗碳时,碳的迁移强烈地依赖于所控制的等离子功率密度值。介绍了等离子扩散处理时用以稳定等离子流密度的控制系统。一导言等离子体用于表层化学热处理过程,多年来已众所周知。离子渗氮早自70年代就已进入工业应用,且目前己得到了最广泛的采用。
出处
《国外金属热处理》
1990年第6期1-7,共7页
Heat Treatment of Metals Abroad
