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第六讲: 真空测量被引量：1

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摘要第六讲：真空测量刘玉岱（东北大学）二、全压力测量７．电容式薄膜真空计（上接１９９７第２期）根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量...

作者刘玉岱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 北大核心 1997年第3期45-48,共4页 Vacuum

关键词真空测量全压力分压力综述

分类号 TB771 [一般工业技术—真空技术]

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真空

1997年第3期

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