摘要
利用有限元分析理论和模态分析理论,分析了高分辨光刻机主基板的动态特性,分析结果表明主基板结构设计合理。结合模态试验,验证了主基板有限元模型的正确性。利用该有限元模型,进行了灵敏度分析,还进一步实现了主基板结构的优化设计。
The main--plate of the high--resolution stepping--scanning lithography was studied. Using the finite element analysis theory and modal analysis theory, dynamic characteristics of the main--plate were analyzed, and it proves the structural design is reasonable. Using modal test, the finite element model was validated. Using the finite element model, we carried out sensitive analysis, and implemented the optimization design.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第21期2524-2527,共4页
China Mechanical Engineering
基金
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716206)
国家自然科学基金资助项目(50605025)
关键词
主基板
有限元分析
模态试验
优化设计
main--plate
finite element analysis
modal test
optimization design
