铜及铜合金的化学抛光工艺改进被引量：1

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摘要本文介绍了改进的铜及铜合金化学抛光工艺，简介了该工艺的流程，化学抛光液和脱膜液的配方及工艺条件，还分析了硝酸及过氧化氢浓度，乙醇及ＬＣ添加剂、抛光时间及搅拌速度等对该工艺的影响。

作者蔡棣清陈旭东

机构地区中国科学院广州电子技术研究所广州市东科工艺有限公司

出处《化工腐蚀与防护》 1997年第1期15-17,共3页

关键词铜铜合金化学抛光

同被引文献12

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化工腐蚀与防护

1997年第1期

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