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平板显示器的激光退火

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摘要 平板显示器的激光退火从７０年代中期以来，半导体工业研究实验室已经研究了许多不同类型的激光器用于无定形硅的退火，以促其向多晶硅转变。这一研究已用于活性基体液晶显示器（ＡＭＬＣＤ）的生产过程。８０年代早期，验证了在这一过程中准分子激光器比红宝石、＊ｄ：Ｙ...
作者 王广昌
出处 《光电子技术与信息》 1996年第6期24-26,共3页 Optoelectronic Technology & Information
关键词 平板显示器 激光退火
分类号 TN873.91 [电子电信—信息与通信工程]
  • 相关文献
光电子技术与信息
1996年 第6期

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