期刊文献+

基于微装配领域的微操作机器人系统研究

Micromanipulator System in Microassembly
在线阅读 下载PDF
导出
摘要 微装配已成为制造业遇到的新问题,制约着微机电行业的发展。文中对用于微装配领域的微操作机器人系统进行了系统的研究。提出了微操作机器人机构的选型准则,介绍了控制系统结构框图以及补偿方法、显微成像系统的结构,以及微夹持器设计中存在的若干问题。 Microassembly becomes a new problem in mannfacturing and limits the develompment of MEMS,This paper studies the system of micromanipulation ,First the criterion choosing mechanism is provided,then the paper introduces block diagram of control system and the method of compensation process,in the end gives the structure of micro imaging system and several problems in designing micro gripper.
出处 《机械工程师》 2006年第7期24-26,共3页 Mechanical Engineer
关键词 微装配系统 微操作机器人 柔性机构 压电陶瓷控制 Miicromanipulator System micromanipulator flexible mechanism PZT control
  • 相关文献

参考文献7

二级参考文献16

  • 1刘一声.新型致动器及其应用的开发[J].压电与声光,1994,16(5):19-26. 被引量:8
  • 2谢传钵.分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究[J].光电工程,1996,23(4):65-72. 被引量:10
  • 3王建林,刘文晖,胡晓东,胡小唐.压电微位移器在超微定位系统中的应用[J].压电与声光,1997,19(2):95-97. 被引量:12
  • 4李尚平.超精密表面微观形貌扫描隧道显微检测技术及装置的研究,华中理工大学博士学位论文[M].,1994,3..
  • 5高宏 李庆祥 等.亚微米弹性微位移工作台系统的设计及精度分析[J].清华大学学报,1988,28(5):19-28.
  • 6[1]J.Hesselbach," New Aspects of Microassembly", MICRO. tec2000 Proceedings Volume 2,DVE World Microtechnologies Congress,Sept.25- 27,2000,Hannover,Germany,45- 49.
  • 7[2]J.Hesselbach,M.Kü hn," Montage mikrosystemtechnischer Bauteile",Mikroelektronik+ Mikrosystemtechnik,9.
  • 8[3]J.Hesselbach,G.Pokar," A class of new robots for micro as sembly" ,Production Engineering,Vol.VII/1, 2000, 113- 116.
  • 9[4]J.Hesselbach,J.Plitea,N.Thoben," Advanced technologies for micro assembly",SPIE proceedings,Vol.3202,Pittsburg,USA, 1997, 178- 190.
  • 10[5]J.Hesselbach,A.Raatz," Pseudoelastic flexturehinges in robots for microassembly",SPIE proceedings, Vol.4194, Bosten,USA, 2000, 157- 167.

共引文献38

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部