摘要
压电陶瓷已在各种精密仪器控制中广泛应用。但是由于压电陶瓷的非线性使控制复杂，而且控制精度受到影响。本文作者在扫描隧道显微镜探针高度调节中，将模糊控制用于压电陶瓷的控制，取得了较通常采用的控制方法更为理想的效果。
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1999年第3期200-202,共3页
Piezoelectrics & Acoustooptics
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