摘要
概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术,重点讨论了基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。在对上述各测量系统分析研究的基础上,指出光栅纳米测量进一步研究的关键在于:研究基于新型测量原理的光栅纳米测量系统,研制光栅纳米测量系统的精密机械调整机构、光电信号处理和细分技术、误差分离和修正技术等。
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第4期53-55,共3页
Instrument Technique and Sensor
基金
国家自然科学基金资助项目(50275047)
安徽省重点实验室基金资助项目:安徽省教育厅自然科学基金资助项目(2003kj004)
安徽大学"211工程"创新团队资助项目
