摘要
文中论述了半孔径双向剪切干涉仪的结构及进行准直检测的原理,给出了干涉条纹表达式,讨论了该法的检测灵敏度。将检测结果与Talbot干涉法的结果做了分析比较。
Thispaper dealswith the construction of HABS interferometer and theprinciple of collimation testing, gives the formulas of interferogram and discusses the testing sensitivity of This method. Theresults obtained compared with the results of Talbot interferometry.
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第4期220-223,共4页
Journal of Optoelectronics·Laser
关键词
准直检测
干涉仪
激光
光检测技术
shearing interferometry
collimation testing
sensitivity