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准直检测的改进──半孔径双向剪切干涉法

Improved of Collimation Testing-Half-aperture Bidirection Shearing Interferometry
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摘要 文中论述了半孔径双向剪切干涉仪的结构及进行准直检测的原理,给出了干涉条纹表达式,讨论了该法的检测灵敏度。将检测结果与Talbot干涉法的结果做了分析比较。 Thispaper dealswith the construction of HABS interferometer and theprinciple of collimation testing, gives the formulas of interferogram and discusses the testing sensitivity of This method. Theresults obtained compared with the results of Talbot interferometry.
出处 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期220-223,共4页 Journal of Optoelectronics·Laser
关键词 准直检测 干涉仪 激光 光检测技术 shearing interferometry collimation testing sensitivity
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