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P—CVD过程的双探针测量 被引量:1

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出处 《薄膜科学与技术》 1990年第3期19-27,共9页
  • 相关文献

同被引文献3

  • 1彭定坤,J Phys C,1989年,5卷,667页
  • 2Yang S H,J Non-Cryst Solids,1983年,59卷,759页
  • 3沈宗雍,半导体学报,1983年,4卷,3期,302页

引证文献1

二级引证文献1

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