摘要
综述光敏聚酰亚胺作为感光高分子的最新进展,着重叙述有机硅改性光敏聚酰亚胺、自增感光敏聚酰亚胺和含氟光敏聚酰亚胺的制备方法和性能研究。
The present paper reviews the investigative progresses of photosensitive polyimides. The synthetic methods and properties of photosensitive polysiloxa-neimides, autophotosensitive polyimides and fluorine-containing photosensitive polyimides are discussed in detail.
出处
《功能高分子学报》
CAS
CSCD
1996年第1期125-136,共12页
Journal of Functional Polymers
基金
国家自然科学基金
河北省科委自然科学基金资助项目
关键词
聚酰亚胺
抗蚀剂
PSPI
感光性
耐热性
Photosensitive polyimides, Photosensitive polymers, Photoresist.
