摘要
通过凝胶率对曝光能量的变化,研究显影液、光敏剂用量等对超支化聚合物光致抗蚀剂感光性能的影响。结果表明:四甲基氢氧化胺水溶液对超支化聚合物光致抗蚀剂的溶解能力比碳酸钠强,对感光性具有较大的影响;当显影液相同时,随着引发剂的量增大,E0,gel减小,反差γgel在引发剂的用量为6%时,可达到8.13,E0,gel达到5.5mJ/cm2。
the effect factors of hyperhranched polymer photoresists on photosensitivity were studied by gel-exposing relationship. There are effects on photosensitivity of hyperbranched polymer photoresists from development solution and PI content and acidic cross-linking monomer. The result showed that fairly good Photosensitivity can he gained through adjusting the development solution and PI content and acidic cross-linking monomer.
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期22-24,共3页
New Chemical Materials
基金
广东省自然科学基金项目资助(5011734)
广东省教育厅自然科学研究项目资助(Z03063)
湛江市科技攻关项目资助
关键词
抗蚀剂
超支化聚合物
感光性能
photoresist,hyper branched polymer,photosensitivity
