背散射电子的探测研究
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1武丰煜,张福安.电子束曝光机用背散射电子检测装置的研制及应用[J].电工电能新技术,1989,8(2):46-50.
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2高尚,缪亚美,杨海峰,邹成亮,刘广全.场发射扫描电镜上探头探测效率下降的现象及原因分析[J].电子显微学报,2016,35(4):336-339. 被引量：1
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3武丰煜,张福安.电子束曝光机用背散射电子检测装置的研制及应用[J].LSI制造与测试,1989,10(4):27-31. 被引量：1
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4季振国,鲍德松,刘古.中能弹性背散射电子的角分布理论计算[J].真空科学与技术,1992,12(1):19-25.
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5杨晶,崔万照,胡天存,张娜.纯银材料的二次电子发射能谱研究[J].太赫兹科学与电子信息学报,2014,12(1):141-144. 被引量：7
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6李保第,刘福庆,付兴昌,张绵.扫描电子显微镜在栅光刻工艺中的应用[J].微纳电子技术,2008,45(9):538-541.
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7蒋昌忠,李承斌,曹旸,付强,范湘军.利用低失能近轴背散射电子的扫描电镜[J].电子显微学报,2000,19(4):625-626.
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8王琦龙,雷威,张晓兵,狄云松,周雪东,刘敏.新型CNT-FED栅极结构表面二次电子发射研究[J].应用科学学报,2005,23(3):265-268. 被引量：2
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9应用材料推出新的电子束量测设备[J].中国集成电路,2015,24(4):3-3.
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10蒋昌忠,彭友贵,张文翠.低失能近轴背散射电子的探测及应用[J].微细加工技术,2000(3):18-21. 被引量：2
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