摘要
本文以统计性的数据为依据，阐述超纯水水质对器件的影响，列出亚微米CMOS线上的水质实例。围绕现代超纯水水质参数中总有机碳这一中，G环节，讨论了降低该值的关键和相关问题的解决要点。
出处
《微电子技术》
1995年第5期31-38,共8页
Microelectronic Technology
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