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深深亚微米技术中的超纯水
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摘要
以我国深亚微米水平的超纯水系统的实践经验为基础,以300mm芯片厂和深深亚微米加工技术的需要为对象,推测其水质、水量的要求和费用能力,评述若干制水关键技术的现状,展望其发展。
作者
林耀泽
机构地区
原中国华晶电子集团公司中央研究所
出处
《洁净与空调技术》
2000年第2期14-20,共7页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词
超纯水
水耗
超过滤
EDI
脱气
离子交换树脂
分类号
TU991.2 [建筑科学—市政工程]
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洁净与空调技术
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