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二氧化碳薄膜微电极器件的微加工制作技术及特性研究

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摘要应用微机械加工技术发展新一代的微传感器是当前国际传感器技术发展的重要趋势。微化学传感器有许多优点,而用微加工技术制作的微器件由于构型的一致性和均匀性,对于电流型工作模式的化学传感器尤其诱人。

作者周仲柏刘炯权

机构地区武汉大学化学系美国凯斯西储大学电子设计中心和爱迪生传感器技术中心

出处《化学传感器》 CAS 1995年第1期7-8,共2页 Chemical Sensors

关键词二氧化碳薄膜微电极化学传感器制造

分类号 O657.1 [理学—分析化学]

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化学传感器

1995年第1期

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