摘要
本文叙述了使用等离子体辅助反应蒸发法在有机玻璃基底上制备透明导电ITO膜的研究结果。成功地在室温的条件下,制备出了高透明的、满足防静电要求的产品。
In this paper the deposition of ITO films on the polyalkylmethacrylate substrates prepared at fhe room temperature by the plasma aided reactive vaporing has been investigated.
出处
《苏州大学学报（自然科学版）》
CAS
1996年第3期34-36,共3页
Journal of Soochow University(Natural Science Edition)
