均匀沉积的ECR等离子体产生
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2汪建华,胡晖,翁俊.微波法金刚石膜的均匀沉积[J].武汉工程大学学报,2014,36(6):14-19. 被引量:1
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3赵文锋,陈俊芳,王燕,孟然,赵益冉,邵士运,李继宇,张宇.Large Scale Homogeneous Growth Mechanics of Microcrystalline Silicon Films on Rough Surface[J].Chinese Journal of Chemical Physics,2010,23(4):447-450.
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4张有为,万里,程新红,王中健,夏超,曹铎,贾婷婷,俞跃辉.采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al_2O_3介质薄膜研究[J].无机材料学报,2012,27(9):956-960. 被引量:4
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7葛洪,张晓丹,岳强,张发荣,赵影,赵颖.大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究[J].真空科学与技术学报,2008,28(4):281-285. 被引量:5
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9李文杰,钟新华.预先合成量子点组装制备高效量子点太阳电池[J].物理学报,2015,64(3):143-153. 被引量:2
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10高芒来,张希,孔祥兴,孙轶鹏,沈家骢.无脂链磺化酞菁铜和四苯基卟啉磺酸钠的分子沉积膜[J].中国科学(B辑),1995,25(1):29-36. 被引量:15
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