掺杂对类金刚石薄膜性能的影响被引量：3

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摘要类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性。为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能，人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化。总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响。

作者王立达刘贵昌邓新绿

机构地区大连理工大学化工学院大连理工大学三束改性国家重点实验室

出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F10期310-312,316,共4页 Materials Reports

关键词薄膜性能掺杂类金刚石膜摩擦学性能生物相容性机械性能电学性能光学性能化学性能性能变化

分类号 O484.41 [理学—固体物理] TN104.3 [电子电信—物理电子学]

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