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可控硅式磁控溅射靶极电源的研制

Developing of SCR Magnetic Sputter Cathode's Power Source
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摘要 本文介绍的电源具有下垂特性的电流,电压负反馈双闭环系统,采用P-I调节,使电源系统具有良好的动态特性。引入了电流截止负反馈,解决靶极辉光放电问题。该电源与负载匹配能力强、体积小、集成度高、抗干扰能力强、调节方便。 Abstract The power source of both voltage and current's negative feedback control loop system having characteristics of sudden falling is introduced in this paper,this power sourec has good dynamic characteristic because it adopts P-I adjustment.It solves the problem of the cathode'arc discharge by leading into the cut-off current's negative feedback. this power source has the advantabes of breat matchable ability with load,small volume, good integration, very capable antijamming and easy adjustment.
作者 张勇 魏海波
出处 《真空》 CAS 北大核心 1994年第4期36-39,共4页 Vacuum
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