摘要
从第一级过滤到使用点的管道系统,有许多因素决定硅片加工用水的质量。 就像生物本身离不开水一样,水对于半导体生产来说,是至关重要的。生物可以从水的有益成分中获得好处,而半导体生产需要的却是超纯水。 在所有的硅片加工处理过程中,每一块硅片的漂洗要消耗数百加仑的水,水与硅片间的接触使得水中的各种成份都有许多机会沾污硅片,从而造成半导体电路的缺陷,这是现今硅片加工过程中最讨厌的事。 半导体设备与材料协会推荐的超纯水指标,详细列举了目前半导体厂家最为关心的水的各种成份(见表1)。本文为了便于讨论,把这些成分分成以下五个大类: 1.溶解的离子; 2.二氧化硅; 3.细菌; 4.总有机(可氧化的)碳(TOC); 5.各种粒子。
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1989年第1期75-79,共5页
Microelectronics
