MOCVD装置和材料的研究
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1翟其刚,徐林木,陈伟民,俞光仪.MOCVD装置的微机控制[J].应用科学学报,1989,7(2):148-152.
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2高鸿楷,张济康,叶亚仙,李秀如,云峰,刘瑛,张增颜,侯洵.实用化微机全自动控制XG60-1型MOCVD装置的研制[J].高速摄影与光子学,1990,19(4):360-365.
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3朱丽萍,叶志镇,赵炳辉,倪贤锋,赵浙.立式高真空MOCVD装置及GaN外延生长与器件制备[J].真空科学与技术学报,2004,24(6):448-450. 被引量:1
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4张千勇,史全林,王喜祥,徐莉.国产MO源的GaAs、GaAlAs的MOCVD生长[J].长春光学精密机械学院学报,1991,14(2):19-20.
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5易贵华,尹洪禹.沉积ZnO膜的MOCVD装置的研制[J].真空,2001,38(6):23-25. 被引量:1
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6章明溪.退火激活ZnSe:N/ZnSe外延膜中氮的方法[J].有色金属与稀土应用,2003(2):31-36.
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7赵晓薇,范希武,张吉英,杨宝均,于广友,申德振.低压MOCVD ZnSeTe ZnSe多量子阱的制备及质量判别[J].人工晶体学报,1997,26(3):331-331.
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8郭坤敏,谢自立,马兰,袁存乔.脱除氢气流中AsH_3和PH_3的专用浸渍活性炭及滤毒罐(英文)[J].新型炭材料,2001,16(2):54-56. 被引量:4
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