Daikin准备选用COF2作为室内清洁气体
被引量：2
摘要
据日本方面报道，Daikin Industrial公司计划在Osaka县Yodogawa工厂建造一个工业规模的COF，生产装置。用在半导体化学气体沉积室(CVD)清洁设备上的这种气体已被证明是一种有很大潜力的替代物，它可用于替代现在使用的NF3和高氟化碳．
出处
《化学推进剂与高分子材料》
CAS
2005年第1期13-13,共1页
Chemical Propellants & Polymeric Materials
同被引文献29
-
1长濒後阴,马场甫,阿部隆.一酸化炭素加かぢヵルぼルァロリヒの制造法:JP,45.26611[P].1970.
-
2Childs William V. Production of carbonyl fluoride: US, 3461050[P]. 1969.
-
3Georg Brauer. Handbook of preparative inorganic chemistry[M]. 2nd Edition. New York: Academic Press, 1963: 206-208.
-
4Manfred Wechsberg, George H Cady. Comparative studies of the catalytic fluorination of carbon monox- ide with elementary fluorine[J]. J Am Chem Soc, 1969, 91(16): 4 432-4 436.
-
5Yuki Mitsui, Taisuke Yonemura, Yutaka ohira, et al. Process for production carbonyl fluoride: US, 20060194985[P]. 2006.
-
6杨国威,杨忠民,刘延华,等.催化氟化制备三氟甲烷:CN,1018823[P].1992.
-
7杨国威,杨晓勇,周楠,等.一氧化碳氟化反应器:CN,2594248[P].2003.
-
8杨晓勇,周楠,吴勇,等.一种改进型一氧化碳氟化反应器:CN,2757914[P].2006.
-
9三井有规.碳酰氟的制造方法及制造装置:CN,1890174[P].2007.
-
10毛利勇,田村哲也.二ニァシ化ヵルホの制造方法:JP,2003-267712[P].2003.
二级引证文献5
-
1柴华,李峰,赵新堂,王民涛.碳酰氟研究的最新进展[J].低温与特气,2018,36(1):4-9. 被引量：3
-
2姚文彬,陆守香,许鸣皋,杨玖重,余潇阳.聚三氟氯乙烯纯氧环境热解气体产物分析[J].燃烧科学与技术,2022,28(1):56-62. 被引量：1
-
3邱堪辉.碳酰氟制备研究进展[J].浙江化工,2023,54(3):1-5. 被引量：3
-
4王珂,张玉强,袁胜芳,周志翔.电子级碳酰氟的制备与纯化技术进展[J].低温与特气,2024,42(6):1-5.
-
5权佳雨,俞泽臣,张海燕,傅建捷,江桂斌.全氟酮类和酰氟类化合物大气过程及环境气候影响研究进展[J].环境化学,2025,44(3):721-731.
-
1江年.大气中过氟碳化合物增长趋势[J].中国环境科学,2004,24(1):88-88.
-
2宋尚林.全氟辛酸残液的综合利用和处理[J].中国高新技术企业,2014(11):56-57. 被引量：1
-
3不可籠统说“禁氟”[J].中国科技产业,1996(11):66-66.
-
4威胁人类生存的十大环境问题(之二)[J].中国国土资源经济,2013,26(4):15-15.
-
5沈燕,叶招莲,陈琪,侯惠奇,张仁熙.介质阻挡放电等离子体降解CF_4[J].环境科学研究,2009,22(5):531-534. 被引量：2
-
6美加等六国发起应对气候变化新联盟[J].世界环境,2012(2):94-95.
-
7董晓鹏.剖析清洁新技术在酒店、保洁物业中难以普及的根源[J].中国洗涤用品工业,2013(5):48-50.
-
8钟晋贤,杨文襄,牟玉静,刘晔,陈大舟.过氧化氢存在下HCFC－22光解特性[J].环境科学,1996,17(3):54-56. 被引量：1
-
9温室气体和温室效应[J].机械管理开发,2006(3):94-94.
-
10全球大举推进ODS淘汰进程[J].中国石油和化工标准与质量,2009,29(11):44-45.
