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一种新型高精度温度补偿的压力传感器
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摘要
木文介绍了根据晶体管的发射结偏压随温度变化的关系,来代换扩散硅压力传感器中利用扩散电阻进行温度补偿的原理和优越性。
作者
方凯
王荣
机构地区
辽宁大学物理系
出处
《传感器技术》
CSCD
1989年第3期24-28,共5页
Journal of Transducer Technology
关键词
传感器
温度补偿
压力
膜片
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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传感器技术
1989年 第3期
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